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              HITACHI掃描電鏡的產(chǎn)品特性介紹

              更新時間:2022-12-05 點擊次數(shù):1144
                HITACHI掃描電鏡特點:
               
                *高分辨成像
               
                日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下,也可獲得高分辨的圖像。
               
                高襯度的低加速電壓背散射圖像
               
                3D NAND截面觀察;
               
                在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
               
                快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
               
                由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像。
               
                自動化功能*
               
                EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
               
                靈活的用戶界面
               
                原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。
               

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